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臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司取得一項(xiàng)名為“用于供給化學(xué)溶液的系統(tǒng)與方法“，授權(quán)公告號(hào)CN113701058B，申請日期為2021年3月。

專利摘要顯示，本發(fā)明實(shí)施例涉及用于供給化學(xué)溶液的系統(tǒng)與方法。一種系統(tǒng)包含化學(xué)品存儲(chǔ)槽、管線、泵、第一靜電探針及控制單元。所述管線連接到所述化學(xué)品存儲(chǔ)槽。所述泵連接到所述管線且經(jīng)配置以將化學(xué)溶液從所述化學(xué)品存儲(chǔ)槽泵送到所述管線中。所述第一靜電探針耦合到所述泵且經(jīng)配置以測量所述泵的靜電電壓。所述控制單元耦合到所述第一靜電探針且經(jīng)配置以從所述第一靜電探針獲得靜電電壓的測量。
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